光氧廢氣處理設備采用高能C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等。
1、催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可有效地殺滅細菌，催化式廢氣處理設備將有毒有害物質破壞且改變成為低分子無害物質
2、
光氧廢氣處理設備是利用紫外線具有的特定的波長來對有機廢氣進行轉化的，所以他在轉化的過程中的速率是尤其的高的，而且處理廢氣的穩定性也很好，可以長期的使用
3、在分解過程中產生高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧；眾所周知臭氧對有機物具有有效的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有著有效的去除效果；通俗的講光催化氧化是在外界可見光的作用下發作催化作用,光催化氧化反應是以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將有機物降解為CO2和H2O及其它無害成份。
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